与表面损伤相关的文章：

RBSiC是一种复合材料，材料中均匀地分布着颗粒SiC相和游离Si相。这两相力学性能不同，两相之间相互作用使裂纹的产生扩展十分复杂。为了更好地理解RBSiC磨削过程中，其亚表面损伤的形成机理，分别采用截面显微观测法和角度抛光法观测了磨削后RBSiC的亚表面损伤 ......

当前，在国家科技重大专项“极大规模集成电路IC制造装备及成套工艺”02 专项的支持下，我国在集成电路制造装备与技术方面有了大幅提升，但受工艺技术与设备条件的限制，目前整体实力与国外相比仍有一定差距。其中，高质量超光滑表面的加工是IC 制造发展的瓶颈问题。 ......