表面检查装置

日本某家计测控制系统公司研制成功一种比老产品精度高10倍的表面检查装置, 商品名为“ Laser profljer” 。该装置使用红外激光, 能以0.01μm 量级的精度测定物质表面处的凹凸。当激光照到被检物质上, 经反射回来的干涉波由工作站进行数字分析, 查出表面粗糙度。激光的调焦和整个物体的倾斜修正等均自动控制, 测量结果在显示屏上放大显示。一次能测量的区间为1OOnm 。据称, 测量时间仅为迄今的l/10 左右。