硅抛光片表面质量检查仪

由于半导体器件制造过程中的片子外观缺陷’检查与器件的制造成品率，可靠性密切相关，已越来越引起人们的普遍关注。而片子抛光后的表面质量检查做为一系列片子外观质量“监控”的第一步更是如此。为了适应现今工艺生产过程中的检测需求和生产工艺的不断发展、完善，我们研制了 WJY-l01型硅抛光片表面质量检查仪。

由 WJY-101型抛光片表面质量检查仪是以目测观察的方法判断片子外观质量“好” “坏”的自动化检查仪器。该仪器的检查方法符合《硅单晶抛光片表面质量的目测检验方法》国家标准。同时符合ASTM制定的 F523-80《抛光硅片目测检验方法》的国际标准。

由 检测原理是：在一定的光照条件下，根据抛光片表面缺陷会形成光的散射点而用目测进行观察、识别、仪器自动分类。目测观察的光照条件分为二类：一是正面高强度平行光，检查面上的光强度为16000勒克斯。二是大面积散射光源，检查面上的光强度为 540 ~ 650勒克斯。目测检查时的光照、观察条件如图l所示。其中：

由 a= 45°±l0°

由 β= 90°±10°

由背景光的照度为50～650勒克斯。

由 以上两种检查光源的设置是因为每种光源的检查对象不同：如高强度平行光源用来观察片子表面的沾污、雾、浅坑，划道，.嵌入入磨料颗粒类缺陷，用大面积散射光源观察、片子整个，面的边缘破裂、桔皮、裂纹。刀痕等缺陷。这些缺陷的限制在A'S'TM标准 F515-81《硅单晶抛光片的标准规范》，中做了详细规定。

由 根据国外有关片子检查光源的发展和国内部分用户的要求;我们在仪器上设置有第三种检查光源——单色光源。其波长为 5890A°光强可达10000勒克斯。

由 该仪器除了可对硅抛光片等半导体材料进行外观检查外，还可用于其它类似材料的外观质量检查。如将仪器的检查光源用显微观察装置替换后，还可对片子各工序及电路制备工艺过程中的外观质量、二次缺陷等进行检测及多点观察和抽查。