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硅片微粗糙度是随着大规模集成电路的发展而被引起广泛关注的, 因为相对一般的机械加工表面而言, 其绝对值很小, 因此常常被称为微粗糙度。通常它以纳米为单位表征硅片表面最高点和最低点的高度差别, ......